摘要： 将辉光放电质谱法（GDMS）用于高纯碳化硅原料和制品中微量杂质成分的检测，结果发现：１）GDMS 法
比化学分析法对Fe、Al 杂质检出限更低，含量的检测结果更准确，检测精密度更高；２）无烟煤及石油焦作为碳源
制备的碳化硅均含有较多的Fe、Al 杂质，无烟煤碳化硅中含Ca 元素较多，石油焦碳化硅中含V 元素也较多。碳化
硅颗粒研磨成微粉过程会引入Fe、Cr、Mn、Ti 等杂质；３）Al 元素在SiC 中多以Al2O3、AlN 存在，酸碱清洗、除
杂过程很难将其除去，用GB/T 3045—2017 化学分析法对Al 元素的检测结果会严重偏低。
